[实用新型]冷凝装置以及酸槽系统有效
| 申请号： | 201020679276.4 | 申请日： | 2010-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN201959582U | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 彭利;肖方 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B01D5/00 | 分类号： | B01D5/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出的一种冷凝装置，固定在风管的外壁，所述冷凝装置包括：内层套管和外层套管，所述内层套管紧贴所述风管的外壁，所述外层套管套设在所述内层套管外，所述外层套管与内层套管之间设置有制冷物质。本实用新型还提出了一种酸槽系统，在酸雾通过风管时就将酸雾中的水蒸气最大限度地与酸气进行分离，以酸液的形式从排液管道排出，避免酸雾在风管中凝结，大大增强风管抽排酸雾能力的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 冷凝 装置 以及 系统 | ||
【主权项】：
一种冷凝装置，固定在风管的外壁，其特征在于，所述冷凝装置包括：内层套管和外层套管，所述内层套管紧贴所述风管的外壁，所述外层套管套设在所述内层套管外，所述外层套管与内层套管之间设置有制冷物质。
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