[实用新型]一种抛光垫有效
| 申请号： | 201020683507.9 | 申请日： | 2010-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN202053191U | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 陈枫;赵敬民 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24D11/00 | 分类号： | B24D11/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种抛光垫，包括：基材板和特征磨料块，所述特征磨料块按流线型固定排列于基材板上。本实用新型提出的抛光垫通过特征磨料块的流线型排列，使得工艺残留物容易清理干净，降低或消除硅片抛光划痕等损伤的产生，提高抛光性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 | ||
【主权项】：
一种抛光垫，其特征在于，包括：基材板和特征磨料块，所述特征磨料块按流线型固定排列于基材板上。
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