[实用新型]圆排车中心盘装置无效
| 申请号： | 201020690035.X | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN201946553U | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 阳铱 | 申请（专利权）人： | 阳铱 |
| 主分类号： | H01J9/385 | 分类号： | H01J9/385 |
| 代理公司： | 杭州金源通汇专利事务所(普通合伙) 33236 | 代理人： | 唐迅 |
| 地址： | 314500 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开的圆排车中心盘装置，它包括动盘和定盘，所述动盘通过第一真空管道连接排气头，所述定盘通过第二真空管道连接真空泵，所述的定盘位于动盘上方，所述第二真空管道位于第一真空管道上方。本实用新型得到的圆排车中心盘装置，定盘位于动盘上方，第二真空管道位于第一真空管道上方，第二真空管道从上方布线，在生产过程中动盘、第一真空管道及排气头在其下方发生旋转，与现有技术相比具有如下优点：对于圆排车的整体布局而言，第二真空管道的布线选择更为自由，甚至可以成直线地与真空泵相连，而无需太多折弯变道，可有效缩短管道距离，从而可提高真空度，减少杂气量，从而提高排气速度和排气质量，同时降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 圆排车 中心 装置 | ||
【主权项】：
一种圆排车中心盘装置，它包括动盘和定盘，所述动盘通过第一真空管道连接排气头，所述定盘通过第二真空管道连接真空泵，其特征是所述的定盘位于动盘上方，所述第二真空管道位于第一真空管道上方。
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