[实用新型]一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组无效
申请号: | 201020690908.7 | 申请日: | 2010-12-30 |
公开(公告)号: | CN201952522U | 公开(公告)日: | 2011-08-31 |
发明(设计)人: | 张治民;冯全来;武超;雷光辉;李治明;张天盛;苏荔 | 申请(专利权)人: | 青海华硅能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 西宁金语专利代理事务所 63101 | 代理人: | 哈庆华 |
地址: | 810007 青海省西*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | 本实用新型涉及单晶硅加工领域,具体地说是涉及一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组。本实用新型一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组所述的坩埚托盘挂钩主视形状为门形,上部三分之一处焊接固定有横筋,下端部向一侧弯曲呈L型挂钩。本实用新型一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组与现有技术相比较有如下有益效果:本实用新型加工设置了单晶炉石墨热系统拆卸工具组后,取出加热系统采用工具组系统列工具将加热系统有内之外,分件取出,不仅降低了工人劳动强度,减少了工作危险性,不会烫伤工人,而且可以缩短原有单晶炉的降温过程,及时、安全、便捷取出石墨热系统,缩短生产周期,提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 石墨 系统 拆卸 工具 | ||
【主权项】:
一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组,包括坩埚托盘挂钩(1)、横筋(2)、L型挂钩(3)、电极扳手(4)、石墨螺母扳手(5)、导流筒保温盖挂钩(6)、圆弧挂钩(7)、加热器勾具(8)、L型勾具(9)、托杆扳手(10)、六方头(11)、排气口护套挂钩(12)、L型护套挂钩(13),其特征是:所述的坩埚托盘挂钩(1)主视形状为门形,上部三分之一处焊接固定有横筋(2),下端部向一侧弯曲呈L型挂钩(3);所述的电极扳手(4)呈T形,下端部焊接设置石墨螺母扳手(5);所述的导流筒保温盖挂钩(6)主视形状呈门形,下端向一侧弯曲呈圆弧挂钩(7);所述的加热器勾具(8)主视形状呈X形,其上端封闭,下端向一侧弯曲呈L型勾具(9);所述的托杆扳手(10)呈T形,下端设置六方头(11);所述的排气口护套挂钩(12)呈火钩形,其下端向一侧弯曲呈L型护套挂钩(13)。
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