[实用新型]一种磁悬浮分子泵系统

摘要

本实用新型涉及一种磁悬浮分子泵系统，包括泵体、置于泵体内的转子、作用于所述转子的径向磁轴承和轴向磁轴承，安装于分子泵内的安装角α角度传感器和旋转角β角度传感器，显示器以及调整控制单元。安装角α角度传感器和旋转角β角度传感器分别检测分子泵安装角α和旋转角β的角度并显示在显示器上。当安装角α和旋转角β变化时，用户据此数据通过调整控制单元调用对应该安装状态的分子泵径向磁轴承偏置电流、轴向磁轴承偏置电流和PID控制参数，实现分子泵处于稳定的工作状态。

主权项

一种磁悬浮分子泵系统，包括泵体、置于泵体内的转子、作用于所述转子的径向磁轴承和轴向磁轴承，其特征在于：还包括，安装角α角度传感器，安装于分子泵内，用于检测安装角α的角度；旋转角β角度传感器，安装于分子泵内，用于检测旋转角β的角度；显示器，安装于所述泵体的外表面，与所述安装角α角度传感器和所述旋转角β角度传感器连接并显示其检测的角度；调整控制单元，用于调整分子泵的径向磁轴承偏置电流、轴向磁轴承偏置电流和PID控制参数，其输入端口安装于所述泵体的外表面；其中，以水平向右的方向为x轴正方向，垂直地面向上的方向为y轴正方向，建立直角坐标系，以磁悬浮分子泵转子轴线相对于直角坐标系y轴正方向逆时针旋转角度为磁悬浮分子泵的安装角α；以径向磁轴承定子的磁极对1产生的磁力与径向磁轴承定子各磁极的合力的夹角为磁悬浮分子泵旋转角β。