[实用新型]化学制剂处理系统无效
申请号: | 201020701144.7 | 申请日: | 2010-12-31 |
公开(公告)号: | CN201956330U | 公开(公告)日: | 2011-08-31 |
发明(设计)人: | 裴立坤;昝威;何金群;王锐廷 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01L21/67 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹 |
地址: | 100016 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种化学制剂处理系统,包括构造相同的第一子系统和第二子系统、用于在两个子系统之间进行切换的第一方向切换阀、第二方向切换阀和第三方向切换阀以及工艺单元和在线化学分析仪。本实用新型的系统可以在不需要时间以重新注入化学制剂的情况下利用两个相同子系统的切换持续地向工艺单元提供化学制剂;该系统利用在线化学分析仪的帮助,可以循环再利用在工艺单元中已使用过的化学制剂,降低生产成本;该系统可快速而准确地控制化学制剂的温度、流量和压力。 | ||
搜索关键词: | 化学 制剂 处理 系统 | ||
【主权项】:
一种化学制剂处理系统,其特征在于,包括:第一子系统,包括:第一储罐(1),第一循环泵(3),其输入端与所述第一储罐(1)的输出端连接,第四方向切换阀(7),其输入端与第一循过滤器(6)的输出端连接,其第二输出端与所述第一储液罐(1)的第三输入端连接;第二子系统,包括:第二储罐(8),第二循环泵(9),其输入端与所述第二储罐(8)的输出端连接,第五方向切换阀(13),其输入端与第二循环过滤器(12)的输出端连接,其第二输出端与所述第二储液罐(8)的第三输入端连接;第一方向切换阀(2),其第一输出端与所述第一储罐(1)的第一输入端连接,其第二输出端与所述第二储罐(8)的第一输入端连接;第二方向切换阀(16),其第一输入端与所述第四方向切换阀(7)的第一输出端连接,其第二输入端与所述第五方向切换阀(13)的第一输出端连接;工艺单元(15),其输入端与所述第二方向切换阀(16)的输出端连接;第三方向切换阀(14),其输入端与所述工艺单元(15)的第一输出端连接,其第一输出端与所述第一储罐(1)的第二输入端连接,第二输出端与所述第二储罐(8)的第二输入端连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造