[实用新型]三氯氢硅尾气变压吸附装置无效
| 申请号： | 201020701275.5 | 申请日： | 2010-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN201949776U | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 宋宜华 | 申请（专利权）人： | 淄博宝运化工厂 |
| 主分类号： | B01D53/053 | 分类号： | B01D53/053;C01B3/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 255000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种三氯氢硅生产装置，具体是一种三氯氢硅尾气变压吸附装置，其特征是，包括多个并联的变压吸附塔分别与氢气缓冲罐连接，每个吸附塔均连接有再生气加热器。本实用新型能够吸收三氯氢硅尾气中的氯硅烷，经过本实用新型处理后，尾气中氢气含量可达到99.99％，经济效益好。 | ||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 尾气 变压 吸附 装置 | ||
【主权项】：
一种三氯氢硅尾气变压吸附装置，其特征是，包括多个并联的变压吸附塔分别与氢气缓冲罐连接，每个吸附塔均连接有再生气加热器。
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