[发明专利]用于微机电系统传感器的微机电系统应力集中结构无效
| 申请号： | 201080001885.7 | 申请日： | 2010-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN102089638A | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 李秉纬 | 申请（专利权）人： | 康达尔芯片设计有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京金思港知识产权代理有限公司 11349 | 代理人： | 邵毓琴 |
| 地址： | 中国香*** | 国省代码： | 中国香港;81 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于微机电系统(MEMS)传感器的应力集中装置和方法。该装置包括具有内区域和外区域的板，该内区域与该外区域通过限定在该板中的狭缝分开。应力集中器桥将该内区域与该外区域相连接，并且机械地放大施加到该板的内区域上的应力。至少一个应力传感器操作性地联接到该应力集中器桥，由此所述至少一个应力传感器将被机械地放大的施加到所述内区域上的应力转换为电信号。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微机 系统 传感器 应力 集中 结构 | ||
【主权项】：
一种用于微机电系统(MEMS)传感器的应力集中装置，该装置包括：板，该板具有内区域和外区域，所述内区域通过限定在该板中的狭缝与所述外区域分开；应力集中器桥，该应力集中器桥构造成连接所述内区域和所述外区域，并且构造成机械地放大施加在所述板的所述内区域上的应力；以及至少一个应力传感器，该应力传感器操作性地连接到所述应力集中器桥上；其特征在于，所述至少一个应力传感器将被机械放大的、施加在所述内区域上的应力转换为电信号。
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