[发明专利]用于在材料表面上构图分子的纳米级图案的方法无效
| 申请号： | 201080003812.1 | 申请日： | 2010-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN102265218A | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | U·T·杜厄里格;B·W·格茨曼;J·L·赫德里克;A·W·科诺尔;D·皮雷斯 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G11B9/00;G01Q80/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了用于构图材料表面的基于探针的方法。具体地，描述了材料表面上的分子的高分辨率构图，诸如具有小于30纳米的特征尺寸的纳米级图案。在一个方面，一种用于构图材料表面的方法包括提供具有聚合物膜的材料。继而使用经加热的、纳米级尺度的探针来在与膜相互作用时解吸分子。膜包括经由诸如氢键之类的分子间(非共价)键交联的分子的网络(诸如分子玻璃)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 材料 表面上 构图 分子 纳米 图案 方法 | ||
【主权项】：
一种用于构图材料表面的基于探针的方法，所述方法包括：提供具有聚合物膜的材料，所述聚合物膜具有经由分子间主要为非共价的键交联的分子的网络；以及通过利用经加热的、纳米级尺度的探针从所述网络解吸分子来对所述聚合物膜进行构图。
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