[发明专利]销升降系统

摘要

本发明的一方面是与具有顶表面和底表面的且所述顶表面与所述底表面间隔有宽度的静电吸盘一起使用的设备，所述静电吸盘其中还具有孔，所述孔在所述顶表面具有第一宽度而在所述底表面具有第二宽度，所述第一宽度小于所述第二宽度，所述顶表面可使晶片放置在其上。所述设备包括销、轴、颈部分和外部壳体部分。所述销具有的销宽度小于所述第一宽度。所述轴具有销固定部分、末端部分和设置在销固定部分和末端部分之间的中间部分。所述中间部分具有第一轴承部分。所述外部壳体部分具有第一末端和第二末端并包括第二轴承部分。所述轴被设置在所述外部壳体部分内并且所述轴相对于所述外部壳体部分是可移动的。所述颈部分设置在所述第一末端。所述第二轴承部分相对于所述颈部分是固定的。所述第一轴承部分相对于所述第二轴承部分是可移动的。

主权项

与具有顶表面和底表面的且所述顶表面与所述底表面间隔有宽度的静电吸盘一起使用的设备，所述静电吸盘其中还具有孔，所述孔在所述顶表面具有第一宽度而在所述底表面具有第二宽度，所述第一宽度小于所述第二宽度，所述顶表面可使晶片放置在其上，所述设备包括：销，其具有的销宽度小于所述第一宽度；轴，其具有销固定部分、末端部分和设置在所述销固定部分和所述末端部分之间的中间部分，所述中间部分包括第一轴承部分；颈部分；以及外部壳体部分，其具有第一末端和第二末端并包括第二轴承部分，其中所述轴被设置在所述外部壳体部分内，并且所述轴相对于所述外部壳体部分是可移动的，其中所述颈部分设置在所述第一末端，其中所述第二轴承部分相对于所述颈部分是固定的，以及其中第一轴承部分相对于所述第二轴承部分是可移动的。