[发明专利]X射线摄像装置有效
| 申请号： | 201080004505.5 | 申请日： | 2010-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN102282480A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 高木慎一郎;米田康人;铃木久则;村松雅治;常深博;鹤刚;堂谷忠靖;幸村孝由 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01T1/24 | 分类号： | G01T1/24;H01L27/14;H01L31/09 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 由在一个面(11)侧设置有排列有检测入射的X射线的多个检测像素的X射线检测部且另一个面(12)成为X射线入射面的背面入射型的固体摄像元件(10)以及设置于摄像元件(10)的入射面(12)上且用于波长比成为检测对象的X射线长的光的遮蔽的遮蔽层(20)构成X射线摄像装置(1)。遮蔽层(20)具有直接设置于入射面(12)上的第1铝层(21)、设置于第1铝层(21)上的第2铝层(22)、以及设置于第1、第2铝层(21、22)之间且用于紫外光的遮蔽的紫外光遮蔽层(25)。由此，实现了可以抑制X射线检测中的噪声光的检测的影响的X射线摄像装置。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 摄像 装置 | ||
【主权项】：
一种X射线摄像装置，其特征在于，所述X射线摄像装置具备：背面入射型的固体摄像元件，在一个面侧设置有排列有检测入射的X射线的多个检测像素的X射线检测部，另一个面成为X射线入射面；以及遮蔽层，设置于所述固体摄像元件的所述X射线入射面上，且用于波长比成为检测对象的X射线长的光的遮蔽，所述遮蔽层具有：直接设置于所述X射线入射面上的第1铝层；设置于所述第1铝层上的第2铝层；以及设置于所述第1铝层以及所述第2铝层之间且用于紫外光的遮蔽的紫外光遮蔽层。
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