[发明专利]涂敷装置无效
| 申请号： | 201080005657.7 | 申请日： | 2010-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN102300644A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 伊原一彦 | 申请（专利权）人： | 芝浦机械电子株式会社 |
| 主分类号： | B05C13/00 | 分类号： | B05C13/00;B05C9/12;H01L21/027 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 庞乃媛;黄剑锋 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种涂敷装置，在将从涂敷头的喷嘴喷出的溶液的液滴涂敷到基板上的涂敷装置(100)中，具有基板保持移动机构(30)，其保持基板(K)并使该基板(K)循环移动，以使其依次位于基于涂敷头(7)的溶液的喷出作业位置、基于照相机(23)的拍摄作业位置、以及基于洗涤装置(26)的洗涤作业位置中的各位置。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种涂敷装置，将从涂敷头的喷嘴喷出的溶液的液滴涂敷到基板上，其特征在于，具备：检测机构，根据涂敷到基板上的溶液的液滴的涂敷状态，检测该液滴的喷出状态；洗涤机构，对涂敷有上述溶液的液滴的基板进行洗涤；以及基板保持移动机构，保持上述基板，并使该基板循环移动，以使该基板依次位于基于上述涂敷头的溶液的喷出作业位置、基于检测机构的检测作业位置、基于洗涤机构的洗涤作业位置中的各个位置。
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