[发明专利]多晶硅棒及其制造装置有效
| 申请号： | 201080005912.8 | 申请日： | 2010-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN102300808A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 小田开行;小柳信一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社德山 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供多晶硅棒及其制造装置。该多晶硅棒可用于浮动区域硅精炼法(FZ法)或者切克劳斯基单晶生长法(CZ法)的再装填，直胴部成为容易输送的形状，输送性优良。该多晶硅棒利用化学气相析出法使硅在由立设在电极上的一对硅棒和将硅棒的一端连结起来的架桥线构成的硅芯材上析出并生长而获得，在立设在电极上的上述硅棒的直胴部上沿长度方向具有直径分布，最小直径被调整为最大直径的60～95％的大小。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 及其 制造 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅棒，该多晶硅棒利用化学气相析出法使硅在由立设在电极上的一对硅芯线和将该硅芯线的上端彼此连结起来的架桥线构成的硅芯材上析出并生长而获得，具有在该芯线上析出并生长的直胴部和在该架桥线上析出的架桥部，其特征在于，上述硅棒的直胴部在长度方向上具有直径分布，该直胴部的最小直径被调整为其最大直径的60～95％的大小。
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