[发明专利]化学传感器无效
申请号: | 201080006082.0 | 申请日: | 2010-02-08 |
公开(公告)号: | CN102301227A | 公开(公告)日: | 2011-12-28 |
发明(设计)人: | 柴田佳典;足立昌浩 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | G01N27/414 | 分类号: | G01N27/414 |
代理公司: | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人: | 权鲜枝 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 为了提供不需要离子敏感膜的化学传感器,本发明的化学传感器(1)用于检测试样中的样本基材(19),化学传感器(1)具备传感器TFT(7),该传感器TFT(7)在玻璃基板(8)上具有栅极电极(10)、栅极氧化膜(11)、硅层(12)、源极电极(14)以及漏极电极(15),在该源极电极(14)与该漏极电极(15)之间的开口部分在硅层(12)中形成有沟道区域(18),进一步具备取出在上述沟道区域(18)产生的漏电流的取出信号线(PAS1~PASn)和电流取出部(24)。 | ||
搜索关键词: | 化学 传感器 | ||
【主权项】:
一种化学传感器,用于检测试样中的对象物,其特征在于,上述化学传感器具备薄膜晶体管,上述薄膜晶体管在基板上具有栅极电极、栅极绝缘层、半导体层、源极电极以及漏极电极,在该源极电极与该漏极电极之间的开口部分在该半导体层中形成有沟道区域,上述化学传感器进一步具备电流取出部,上述电流取出部取出在上述沟道区域产生的漏电流。
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