[发明专利]太阳能生产线的计量与检测套组

摘要

本发明的实施例通常涉及使用处理模组用以形成太阳能电池器件的系统，其中该处理模组经调整以在形成太阳能电池器件时执行一个或多个工艺。在一实施例中，该系统经调整以形成薄膜太阳能电池器件，这是通过接收大型未处理的基板和执行多重沉积、材料移除、清洗、切片、粘接、和各种检测和测试程式，以形成多个完整的、具功能性的、和经过测试的太阳能电池器件，然后可将该太阳能电池器件运到终端使用者，用以安装于所期望位置，来产生电力。在一实施例中，该系统在各种层的形成中提供对太阳能电池器件的检测，同时收集和使用计量资料来诊断、调整或改善在生产太阳能电池器件期间的生产线的生产流程。

主权项

一种太阳能电池生产线，所述太阳能电池生产线包括：多个自动化装置，所述多个自动化装置配置为沿着路径连续地传输基板；第一光学检测模组，所述第一光学检测模组沿着该路径定位，以接收基板，该基板上沉积有正面接触层，所述第一光学检测模组定位在一个或多个丛集工具的上游，所述一个或多个丛集工具有至少一个处理腔室，所述至少一个处理腔室经调适以沉积含硅层在该基板的表面，其中该光学检测模组包括检测装置，所述检测装置定位以检视该基板的区域且配置为以光学方式接收关于在该被检视的区域上是否存在缺陷的资讯；薄膜特征模组，所述薄膜特征模组沿着位于所述一个或多个丛集工具下游的路径定位，并具有一个或多个检测装置，所述一个或多个检测装置配置为检测设置在该基板的该表面上的该含硅层的区域，使得可确定相关于该含硅层的厚度的资讯；以及系统控制器元件，所述系统控制器元件与这些模组的每一个连通，并配置为分析从这些模组的每一个接收到的资讯及发出指示，以在该生产线内对这些模组的一个或多个采取改正措施。