[发明专利]流体控制方法及流体控制装置无效
| 申请号： | 201080007226.4 | 申请日： | 2010-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN102316967A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 横田博 | 申请（专利权）人： | 仓敷纺织株式会社 |
| 主分类号： | B01F15/04 | 分类号： | B01F15/04;B01F3/08;B01F5/00;G01N21/33;G01N21/35;G01N37/00;H01L21/306 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种准确且迅速地将多个流体混合成目标的特性的流体控制方法及流体控制装置，该流体控制装置具备：用于使混合前的多个流体流动的流路(5、7、11、13)；用于使混合后的流体流动的流路(15、17)；用于使流体在流路中移动的泵(19)；用于分别调整混合前的多个流体的流量的流量调整部(11b、13b)；用于对混合后的流体的特性进行光学测定的测定部(15a)；基于测定部(15a)的测定结果，控制流量调整部(11b、13b)而调整混合前的流体的流量，从而使混合后的流体成为目标的特性的控制部(21)。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种流体控制方法，其中，对在流路内流动的混合前的多个流体分别进行流量调整并将它们混合，且对在流路内流动的混合后的流体的特性进行光学测定，基于该测定结果调整所述混合前的流体的流量，以使所述混合后的流体成为目标的特性。
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