[发明专利]基于微机电系统的装置的高速静电致动有效
| 申请号： | 201080007515.4 | 申请日： | 2010-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN102317998A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | A.潘塔齐;C.波齐迪斯;D.R.萨胡;A.塞巴斯蒂安 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G09G3/34 | 分类号： | G09G3/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种微机电装置，包括第一结构(104)；第二结构(106)，与该第一结构偏离一间隙。该第一结构配置为被静电致动以相对于第二结构偏转。脉冲发生器配置为合并至少两个不同的脉冲(302，304)，以在初始位置和最终位置之间静电驱动该第一结构和该第二结构中的至少之一。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 微机 系统 装置 高速 静电 | ||
【主权项】：
一种微机电装置，包括：第一结构；第二结构，与该第一结构偏离一间隙，其中该第一结构配置为被静电致动以相对于该第二结构偏转；以及脉冲发生器，配置为合并至少两个不同脉冲，以在初始位置和最终位置之间静电驱动该第一结构和该第二结构中的至少之一。
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