[发明专利]激光器参数调整无效
| 申请号： | 201080007894.7 | 申请日： | 2010-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN102317028A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 菲卡尔·本纳亚德-彻尔里弗 | 申请（专利权）人： | 录象射流技术公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 李晓冬 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及激光器参数调整，提供了一种用于从组件利用激光器移除衬底的方法。该方法包括以下步骤：将具有不同功率水平或不同激光器速度水平的激光在多个不同位置处施加到组件，以从组件移除所述衬底的一部分并且由此在所述组件上产生多个标记；测量不同标记并且基于标记来产生与激光器的不同功率或速度水平相关联的数据集合；以及基于来自标记的数据集合来调整激光器的至少一个操作参数。可选择地，该方法可以是自动进行的。 | ||
| 搜索关键词： | 激光器 参数 调整 | ||
【主权项】：
一种用激光器从组件移除衬底的方法，所述方法包括：提供包括衬底的组件；使所述组件在多个不同位置处受到具有不同功率水平或不同激光器速度水平的激光的处理，以从所述组件移除所述衬底的一部分并从而在所述组件上产生多个标记；测量多个不同标记的特性并从而产生与所述激光器的不同功率或速度水平相关联的数据集合；产生表示所述激光器对于不同功率水平或速度水平的特性的关系；以及基于表示所述激光器的特性的曲线来调整所述激光器的至少一个操作参数。
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