[发明专利]用于微测辐射热计传感器的谐振器元件和谐振器像素无效
| 申请号： | 201080008518.X | 申请日： | 2010-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN102405400A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | H.布吕克尔;T.迈尔 | 申请（专利权）人： | 奥地利科技研究所有限责任公司 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20;G02B5/22;G01J5/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 胡莉莉;卢江 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于将至少一个预先给定的波长（λ）的电磁波、尤其是波长为2μm到200μm的红外辐射吸收和/或转换成热的谐振器元件，其特征在于，三层结构，所述三层结构包括第一金属层（11）和第二金属层（13）以及在这两个金属层（11，13）之间的介电层（12），其中这些层（11，12，13）的最大横向尺寸在预先给定的波长（λ）的四分之一到一半之间的范围中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 辐射热 传感器 谐振器 元件 像素 | ||
【主权项】：
一种用于将至少一个预先给定的波长（λ）的电磁波、尤其是波长为2μm到200μm的红外辐射吸收和/或转换成热的谐振器元件，其特征在于，‑ 三层结构，所述三层结构包括第一金属层（11）和第二金属层（13）以及在两个金属层（11，13）之间的介电层（12），‑ 其中层（11，12，13）的最大横向尺寸在预先给定的波长（λ）的四分之一到一半之间的范围中。
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