[发明专利]表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备有效
申请号: | 201080009209.4 | 申请日: | 2010-02-26 |
公开(公告)号: | CN102334289A | 公开(公告)日: | 2012-01-25 |
发明(设计)人: | 山中国人 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H03H9/145 | 分类号: | H03H9/145;H03B5/30;H03H9/25 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供能够实现良好的频率温度特性的表面声波谐振器。用于解决上述课题的SAW谐振器利用了欧拉角为(-1°≤φ≤1°,117°≤θ≤142°,42.79°≤|ψ|≤49.57°)的石英基板(30),具有激励出阻带上端模式的SAW的IDT(12);以及使位于构成IDT(12)的电极指(18)之间的基板凹陷而形成的槽(32),其中,在设SAW的波长为λ、槽(32)的深度为G时,满足0.01λ≤G,在设IDT(12)的线占有率为η时,槽(32)的深度G与所述线占有率η满足以下关系:-2.0000×G/λ+0.7200≤η≤-2.5000×G/λ+0.7775,其中0.0100λ≤G≤0.0500λ;以及-3.5898×G/λ+0.7995≤η≤-2.5000×G/λ+0.7775,其中0.0500λ<G≤0.0695λ。 | ||
搜索关键词: | 表面 声波 谐振器 振荡器 以及 电子设备 | ||
【主权项】:
1.一种表面声波谐振器,其具有:叉指换能器,其设置在欧拉角为(![]()
117°≤θ≤142°,42.79°≤|ψ|≤49.57°)的石英基板上,激励出阻带上端模式的表面声波;以及电极指间槽,其是使位于构成所述叉指换能器的电极指之间的基板凹陷而形成的,该表面声波谐振器的特征在于,在设所述表面声波的波长为λ、所述电极指间槽的深度为G的情况下,满足下式:0.01λ≤G并且,在设所述叉指换能器的线占有率为η的情况下,所述电极指间槽的深度G与所述线占有率η满足下式的关系:-2.0000×G/λ+0.7200≤η≤-2.5000×G/λ+0.7775其中0.0100λ≤G≤0.0500λ-3.5898×G/λ+0.7995≤η≤-2.5000×G/λ+0.7775其中0.0500λ<G≤0.0695λ。
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