[发明专利]利用固态光源的高速量子效率测量装置

摘要

本发明提供一种高速量子效率(QE)测量设备，该QE测量设备包括至少一个待测设备(DUT)、具有小于50nm带宽的至少一个受调光源，其中一部分受调光源5受到监视。提供传输光学系统以将受调的光引向DUT，控制器以随时间变化的操作方式驱动受调的光源，并且至少一个反射率测量组件接收从DUT反射的一部分受调光。时间解析的测量设备包括电流测量设备和/或电压测量设备，它们配置成解析通过每个受调光源在DUT中产生的电流和/或电压，其中充分编程的计算机根据来自受调光源和时间解析测量的至少一个波长的入射强度来确定和输出每个DUT的QE值。

主权项

一种高速量子效率(QE)测量设备，包括：a.至少一个待测设备(DUT)；b.至少一个受调光源，其中所述受调光源包括具有小于50nm带宽的至少一个滤光的LED，所述受调光源的一部分是通过光源监测元件监测到的，所述光源监测元件包括至少一个聚集光学系统和至少一个光检测器；c.传输光学系统，所述传输光学系统将所述受调光源引向所述DUT；d.控制器，所述控制器以随时间变化的操作驱动所述受调光源，其中由每个所述DUT对来自每个所述受调光源的响应是唯一标识的；e.至少一个反射率测量组件，其中所述反射率测量组件包括至少一个反射率聚集光学系统和至少一个光检测器，所述光检测器设置成接收从所述DUT反射的所述受调光的一部分；f.时间解析的测量设备，包括：(i)电流测量设备、(ii)电压测量设备、或(i)和(ii)，其中所述时间解析测量设备设置成解析通过每个所述受调光源在所述DUT中产生的(i)电流、(ii)电压或(i)和(ii)；以及g.充分编程的计算机，所述计算机设置成根据来自所述受调光源和所述时间解析的测量的至少一个波长的入射强度来确定和输出每个所述DUT的内部QE值。