[发明专利]等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201080011018.1 | 申请日： | 2010-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN102349356A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 节原裕一;江部明宪 | 申请（专利权）人： | EMD株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;C23C16/505;H01L21/205;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体处理装置，其能够在真空容器内形成强的感应电磁场，且能够防止天线导体的溅射或温度上升及颗粒的产生。本发明的等离子体处理装置(10)具备：真空容器(11)；高频天线(21)，其配置于所述真空容器(11)的壁的内面(111A)和外面(111B)之间；电介质制成的分隔件(16)，其将所述高频天线(21)和所述真空容器(11)的内部加以隔开。由此，与外部天线方式相比，能够在真空容器(11)内形成强感应电磁场。另外，利用分隔件(16)能够抑制由真空容器(11)内生成的等离子体引起的高频天线(21)被溅射或高频天线(21)的温度上升及颗粒产生。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体处理装置，其特征在于，具备：a)真空容器；b)天线配置部，其设置于所述真空容器的壁的内面和外面之间、且是设置于该内面和外面之间的空洞；c)高频天线，其配置于所述天线配置部；d)电介质制的分隔件，其将所述天线配置部和所述真空容器的内部隔开；e)盖，其设置于所述天线配置部的所述外面侧。
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