[发明专利]双轴旋转速率传感器有效
申请号: | 201080011117.X | 申请日: | 2010-03-11 |
公开(公告)号: | CN102348956A | 公开(公告)日: | 2012-02-08 |
发明(设计)人: | B·施密德;R·希瓦拉曼;S·根特纳 | 申请(专利权)人: | 大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司 |
主分类号: | G01C19/56 | 分类号: | G01C19/56 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 杨晓光;于静 |
地址: | 德国法*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种包括至少一个衬底的微机械旋转速率传感器,其中所述旋转速率传感器包括至少一个第一和一个第二震动块,所述第一和第二震动块借助至少一个耦合梁彼此耦合,并且其中所述旋转速率传感器被设计为使得所述旋转速率传感器能够检测围绕至少一个第一和一个第二敏感轴的旋转速率,其中每个震动块关联有至少一个致动单元,可以使用所述至少一个致动单元影响所述震动块的偏转特性。 | ||
搜索关键词: | 旋转 速率 传感器 | ||
【主权项】:
一种微机械旋转速率传感器,包括至少一个衬底,其中所述旋转速率传感器至少具有第一和第二震动块,所述第一和第二震动块借助至少一个耦合梁彼此耦合,并且其中所述旋转速率传感器以可检测围绕至少第一和第二敏感轴的旋转速率的方式实现,其特征在于,每个震动块分配有至少一个致动单元,能够使用所述至少一个致动单元影响所述震动块的偏转特性。
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