[发明专利]超纯水制造设备及超纯水的监测方法有效
| 申请号： | 201080011487.3 | 申请日： | 2010-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN102348644A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 床嶋裕人;小林秀树 | 申请（专利权）人： | 栗田工业株式会社 |
| 主分类号： | C02F1/00 | 分类号： | C02F1/00;G01N33/18 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 宋晓宝;郭晓东 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 通过降低在由多个计量仪器测定超纯水的水质并进行监测时所需要的监测水量，来抑制超纯水制造装置的规模，并由此谋求装置成本的降低。在分取出从超纯水制造装置供给至使用点处的超纯水的一部分并对水质进行监测时，使超纯水通过将相异种类的水质测定计量仪器串联连结两级以上而成的监测装置，来对水质进行监测。由于使从由超纯水制造装置起至使用点处的供水配管所分取的超纯水，串联地通过串联地连接两级以上的相异种类的水质测定计量仪器，因此，通过使在这些计量仪器的水质测定中所需要的监测水共用，由此谋求监测水量的降低，其结果，抑制超纯水制造装置的规模，而能够谋求装置成本的降低。 | ||
| 搜索关键词： | 超纯水 制造 设备 监测 方法 | ||
【主权项】：
一种超纯水制造设备，具有：超纯水制造装置，供水配管，将该超纯水制造装置所制造的超纯水供给至使用点处，监测装置，对从该供水配管所分取的超纯水的水质进行监测；其特征在于，该监测装置具有相异种类的水质测定计量仪器，所述相异种类的水质测定计量仪器串联连结两级以上。
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