[发明专利]带电粒子束PVD装置、遮蔽装置、用于涂布衬底的涂布腔室及涂布方法无效
| 申请号： | 201080012706.X | 申请日： | 2010-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN102356178A | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | J·科雷姆佩尔-赫斯;J·格里尔梅耶;U·赫曼斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/34;C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆勍;钱孟清 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供一种带电粒子束PVD装置，所述装置包含：在壳体(261)内部的涂布材料靶(262)，设置在该壳体中的气孔(263)，以及与该气孔相邻设置的遮蔽装置(266，268；2680)，该遮蔽装置处于浮动电位。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 pvd 装置 遮蔽 用于 衬底 涂布腔室 方法 | ||
【主权项】：
一种带电粒子束PVD装置，包含：在壳体(261)内部的涂布材料靶(262)，设置在该壳体中的气孔(263)，以及与该气孔相邻设置的遮蔽装置(266，268；2680)，该遮蔽装置处于浮动电位，其中该遮蔽装置经由绝缘连接器(270)安装至该壳体，该绝缘连接器(270)具有自遮蔽结构。
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