[发明专利]热转换反应密封容器

摘要

本发明涉及一种热转换反应密封容器，其特征在于，包括：用于设置实用工具的基板；器皿，在与所述基板之间形成密封热区；加热器，配置在所述热区；流入孔和流出孔，向所述热区供给和排出反应气体；以及热交换部，形成在所述器皿的内侧，使得通过所述流入孔供给到热区的反应气体在吸收传递到所述器皿的热能而冷却器皿温度的同时，以被加热的状态供给到所述热区。由此，提供一种热转换反应密封容器，使得反应气体在通过设置在器皿内侧的热交换部向热区供给的过程中，向热区供给的反应气体吸收向器皿外部损失的热能，因此防止器皿被加热到临界温度以上，且由于反应器吸收向器皿外侧损失的热能而被加热后供给到热区，因此能够节省加热器的耗电量。

主权项

一种热转换反应密封容器，其特征在于，包括：基板；器皿，在与所述基板之间形成密封热区；加热器，配置在所述热区；流入孔和流出孔，向所述热区供给和排出反应气体；以及热交换部，形成在所述器皿的内侧，使得通过所述流入孔向所述热区供给的反应气体在吸收向所述器皿传递的热能而冷却器皿温度的同时，以被加热的状态供给到所述热区。