[发明专利]用于测定绕三个相垂直空间轴x、y和z的旋转运动的微陀螺

摘要

一种微陀螺，用于测定绕三个相垂直空间轴x、y和z的旋转运动，其具有一衬底（1），所述衬底上设有多个质量块（2，3），所述质量块沿切向围绕垂直于所述衬底（1）的z轴振荡。所述振荡质量块（2，3）借助弹簧（5，6，8）和锚件（7，9）固定在所述衬底（1）上。多个驱动元件（11）用于保持所述质量块（2，3）的绕z轴切向振摆，从而使所述质量块（2，3）在所述衬底（1）绕任一空间轴旋转时受到科氏力的作用并发生由此引起的偏斜。多个传感器元件用于检测所述质量块（2，3）被所产生的科氏力引发的偏斜。所述绕z轴振荡的质量块（2，3）中的部分质量块以主要可绕平行于所述衬底（1）的x轴倾斜的方式进行安装。所述绕z轴振荡的质量块（2，3）中的其他质量块以主要可绕平行于所述衬底（1）的y轴倾斜的方式进行安装。所述振荡质量块（2，3）中的至少一个其他振荡质量块至少部分还能在平行于所述衬底（1）所在平面的x-y平面内主要沿相对于z轴的径向进行偏斜。所述这个还能进行径向偏斜的z向质量块（3）配有一传感器元件（12），所述传感器元件同样能进行相对于z轴的径向偏斜，但并不绕z轴振荡。

主权项

一种微陀螺，用于测定绕三个相垂直空间轴x、y和z的旋转运动，其包括一衬底（1），所述衬底上设有多个质量块（2，3），所述质量块沿切向围绕垂直于所述衬底（1）的z轴振荡，其中，所述振荡质量块（2，3）借助弹簧（5，6，8）和锚件（7，9）固定在所述衬底（1）上，多个驱动元件（11），用于保持所述质量块（2，3）的绕z轴切向振摆，从而使所述质量块（2，3）在所述衬底（1）绕任一空间轴旋转时受到科氏力的作用并发生由此引起的偏斜，以及多个传感器元件，用于检测所述质量块（2，3）被所产生的科氏力引发的偏斜，其特征在于，所述绕z轴振荡的质量块（2，3）中的部分质量块以主要可绕平行于所述衬底（1）的x轴倾斜的方式进行安装，所述绕z轴振荡的质量块（2，3）中的其他质量块以主要可绕平行于所述衬底（1）的y轴倾斜的方式进行安装，所述振荡质量块（2，3）中的至少一个其他振荡质量块至少部分还能在平行于所述衬底（1）所在平面的x‑y平面内主要沿相对于z轴的径向进行偏斜，所述这个还能进行径向偏斜的z向质量块（3）配有一传感器元件（12），所述传感器元件同样能进行相对于z轴的径向偏斜，但并不绕z轴振荡。