[发明专利]液体原料气化装置无效

专利信息
申请号: 201080013703.8 申请日: 2010-04-19
公开(公告)号: CN102365388A 公开(公告)日: 2012-02-29
发明(设计)人: 家城孝之;林达也 申请(专利权)人: 株式会社堀场STEC
主分类号: C23C16/448 分类号: C23C16/448;B01J7/02;H01L21/31
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人: 周善来;李雪春
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供一种液体原料气化装置,能够防止气泡的再结合从而抑制气泡变大,并且能够使储存的液体原料的温度分布均匀。液体原料气化装置包括:液体原料容器(2);第一加热器(3),设在液体原料容器(2)的侧壁上,用于把储存的液体原料加热到规定的温度;第二加热器(4),设在液体原料容器(2)内部的中央部,用于把储存的液体原料加热到规定的温度;多个气泡发生器(5),浸渍在储存的液体原料中,并设在第二加热器(4)和侧壁之间,向液体原料中喷出载气进行鼓泡;以及供气管(6),向气泡发生器(5)提供载气。
搜索关键词: 液体 原料 气化 装置
【主权项】:
一种液体原料气化装置,其特征在于包括:液体原料容器,储存液体原料;第一加热器,设置在所述液体原料容器的至少侧壁上,用于对储存的所述液体原料进行加热;第二加热器,设置在所述液体原料容器的内部,用于对储存的所述液体原料进行加热;多个气泡发生器,浸渍在储存的所述液体原料中,并且设置在所述第二加热器和所述侧壁之间,用于向所述液体原料中喷出载气进行鼓泡;以及供气管,向所述气泡发生器提供载气。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社堀场STEC,未经株式会社堀场STEC许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201080013703.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top