[发明专利]液体原料气化装置无效
申请号: | 201080013703.8 | 申请日: | 2010-04-19 |
公开(公告)号: | CN102365388A | 公开(公告)日: | 2012-02-29 |
发明(设计)人: | 家城孝之;林达也 | 申请(专利权)人: | 株式会社堀场STEC |
主分类号: | C23C16/448 | 分类号: | C23C16/448;B01J7/02;H01L21/31 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 周善来;李雪春 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种液体原料气化装置,能够防止气泡的再结合从而抑制气泡变大,并且能够使储存的液体原料的温度分布均匀。液体原料气化装置包括:液体原料容器(2);第一加热器(3),设在液体原料容器(2)的侧壁上,用于把储存的液体原料加热到规定的温度;第二加热器(4),设在液体原料容器(2)内部的中央部,用于把储存的液体原料加热到规定的温度;多个气泡发生器(5),浸渍在储存的液体原料中,并设在第二加热器(4)和侧壁之间,向液体原料中喷出载气进行鼓泡;以及供气管(6),向气泡发生器(5)提供载气。 | ||
搜索关键词: | 液体 原料 气化 装置 | ||
【主权项】:
一种液体原料气化装置,其特征在于包括:液体原料容器,储存液体原料;第一加热器,设置在所述液体原料容器的至少侧壁上,用于对储存的所述液体原料进行加热;第二加热器,设置在所述液体原料容器的内部,用于对储存的所述液体原料进行加热;多个气泡发生器,浸渍在储存的所述液体原料中,并且设置在所述第二加热器和所述侧壁之间,用于向所述液体原料中喷出载气进行鼓泡;以及供气管,向所述气泡发生器提供载气。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社堀场STEC,未经株式会社堀场STEC许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201080013703.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:气控截止阀
- 下一篇:一种模拟篮球运动的系统
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的