[发明专利]焊接装置,焊接工具振幅测定方法及焊接工具振幅校准方法有效
申请号: | 201080013830.8 | 申请日: | 2010-03-23 |
公开(公告)号: | CN102365725A | 公开(公告)日: | 2012-02-29 |
发明(设计)人: | 青柳伸幸;丸矢裕介 | 申请(专利权)人: | 株式会社新川 |
主分类号: | H01L21/607 | 分类号: | H01L21/607;H01L21/60 |
代理公司: | 北京龙双利达知识产权代理有限公司 11329 | 代理人: | 王礼华;毛威 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的焊接装置包括:超声波模具(12);毛细管(17);凸缘(14),当超声波模具(12)振动时,因施加在超声波模具(12)波节的长度方向的载荷,沿着其延伸方向作微小振动;焊接臂(21),用金属成形为一体,包括前端侧区(21a),后端侧区(21b),以及连接板(24),因超声波模具振动,前端侧区(21a)和后端侧区(21b)之间的间隔沿着超声波模具(12)的长度方向变化;载荷传感器(31),检测超声波模具长度方向的载荷;振幅测定部(50),变换由载荷传感器(31)检测到的载荷信号,测定毛细管(17)的振幅。由此,在焊接装置中,能以简便方法精度良好地进行焊接工具的振幅测定。 | ||
搜索关键词: | 焊接 装置 工具 振幅 测定 方法 校准 | ||
【主权项】:
一种焊接装置,包括:基体部;超声波模具,与超声波振子振动共振,沿着长度方向纵向振动;焊接工具,安装在上述超声波模具的振动波腹,与焊接对象接离;凸缘,安装在上述超声波模具的振动波节位置,当上述超声波模具振动时,因施加在上述超声波模具波节的长度方向的载荷,沿着其延伸方向作微小振动;焊接臂,上述超声波模具在上述凸缘被固定;载荷传感器,设在上述焊接臂的部位内,检测在上述焊接工具产生的上述超声波模具长度方向的载荷;以及振幅测定部,在上述焊接工具无载荷状态下,通过上述超声波振子使得上述超声波模具振动时,由上述载荷传感器检测载荷信号,变换上述载荷信号,测定上述焊接工具的沿超声波模具长度方向的振动的振幅。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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