[发明专利]调谐器和微波等离子体源有效
| 申请号： | 201080013874.0 | 申请日： | 2010-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN102365785A | 公开（公告）日： | 2012-02-29 |
| 发明（设计）人： | 河西繁;池田太郎;长田勇辉 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01P5/04 | 分类号： | H01P5/04;H05B6/70;H05B6/72;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种使腔室内的负荷的阻抗与微波电源的特性阻抗自动匹配的调谐器(60)，其包括：主体(51)，其具有呈筒状的外侧导体(52)和在其中同轴设置的、呈筒状的内侧导体(53)，成为微波传送路径的一部分；铁心(61a、61b)，其设置于外侧导体(52)与内侧导体(53)之间，沿着内侧导体(53)的长度方向能移动，是环状，由电介质形成；和使铁心(61a、61b)移动的驱动机构，驱动机构的驱动传送部、驱动引导部、构成保持部的滑动部件(63)和铁心移动轴(64a、64b)被收容在内侧导体(53)的内部。 | ||
| 搜索关键词： | 调谐器 微波 等离子体 | ||
【主权项】：
一种调谐器，其设置于将微波从微波电源向实施微波等离子体处理的腔室传送的微波传送路径，使所述腔室内的负荷的阻抗与所述微波电源的特性阻抗匹配，所述调谐器的特征在于，包括：主体，其具有呈筒状的外侧导体和同轴设置在其中的呈筒状的内侧导体，成为微波传送路径的一部分；铁心，其设置于所述外侧导体与所述内侧导体之间，沿着内侧导体的长度方向能够移动，呈环状，由电介质形成；和使所述铁心移动的驱动机构，其中，所述驱动机构具有：给予驱动力的驱动部；将来自驱动部的驱动力传送到所述铁心的驱动传送部；引导所述铁心的移动的驱动引导部；和将所述铁心保持于所述驱动传送部的保持部，所述驱动传送部、所述驱动引导部和所述保持部被收容于所述内侧导体的内部。
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