[发明专利]双反射镜扫描系统有效
| 申请号： | 201080014064.7 | 申请日： | 2010-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN102365573A | 公开（公告）日： | 2012-02-29 |
| 发明（设计）人： | 乔舒亚·M·胡德曼;瓦耶塔·O·戴维斯;迪安·R·布朗 | 申请（专利权）人： | 微视公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;G02B26/08 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 陆弋;王伟 |
| 地址： | 美国华*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种扫描光束投影系统，包括双反射镜扫描系统(110)。一个反射镜沿着一个方向扫描，并且第二反射镜沿着第二方向扫描。快速扫描反射镜(320)接收来自折叠反射镜(312)的调制光束并且将调制光束引导到慢速扫描反射镜。折叠反射镜可以在输出光学器件上形成或者可以在带有慢速扫描反射镜的公共衬底上形成。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 扫描 系统 | ||
【主权项】：
一种设备，包括：衬底；第一扫描反射镜，所述第一扫描反射镜被耦接到所述衬底并且名义上平行于所述衬底，并且所述第一扫描反射镜能够被操作以具有在第一维度上的可变角位移；折叠反射镜，所述折叠反射镜位于所述衬底上，并且平行于所述衬底；和第二扫描反射镜，所述第二扫描反射镜被定位成接收从所述折叠反射镜反射的光并且向所述第一扫描反射镜反射光，所述第二扫描反射镜能够被操作以具有在与所述第一维度基本成90度的第二维度上的角位移。
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