[发明专利]静电电容型压力传感器有效
| 申请号： | 201080014519.5 | 申请日： | 2010-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN102369424A | 公开（公告）日： | 2012-03-07 |
| 发明（设计）人： | 石原卓也;差波信雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社山武 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种静电电容型压力传感器，所述静电电容型压力传感器即使在被测媒体附着堆积于感压隔膜的情况下，也能够抑制感压隔膜的弯曲从而抑制零点漂移。一种静电电容型压力传感器(10)具有检测与被测媒体的压力相对应的电容的压力传感器芯片，其中，压力传感器的传感器隔膜(111)的一侧面(111b)为导入所述被测媒体的压力导入室侧，另一侧面(111a)为形成电容部的电容室侧，传感器隔膜的刚性从构成传感器隔膜与电容室侧的隔膜固定部(16)、(17)的边界的周缘部向中央部降低。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 电容 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种静电电容型压力传感器，具有检测与被测媒体的压力相对应的电容的压力传感器芯片，其特征在于，所述压力传感器的传感器隔膜的一侧面为导入所述被测媒体的压力导入室侧，另一侧面为形成电容部的电容室侧，所述传感器隔膜的刚性从构成所述传感器隔膜与所述电容室侧的隔膜固定部的边界的周缘部向中央部降低。
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