[发明专利]碱产生剂、感光性树脂组合物、含有该感光性树脂组合物的图案形成用材料、使用该感光性树脂组合物的图案形成方法以及物品

摘要

本发明提供一种高感度且可适用的范围较广的碱产生剂以及高分子前驱体在结构上可适用的选择范围较广的感光性树脂组合物，所述高分子前驱体是可通过碱性物质或通过碱性物质存在下的加热，其生成最终产物的反应得到促进的高分子前驱体。本发明的碱产生剂的特征在于，其以下述化学式(1)表示且通过电磁波照射和加热产生碱；本发明的感光性树脂组合物的特征在于，其含有所述碱产生剂和下述高分子前驱体，所述高分子前驱体为可通过所述碱产生剂和碱性物质或通过碱性物质存在下的加热，其生成最终产物的反应得到促进的高分子前驱体。化学式(1)式中的记号同说明书中的记载。

主权项

1.一种碱产生剂，其特征在于，其以下述化学式(1)表示且通过电磁波的照射和加热产生碱：化学式(1)化学式(1)中，R¹和R²分别独立地表示氢或有机基，可相同也可不同；R¹和R²可彼此键合而形成环状结构，该环状结构也可含有杂原子；其中，R¹和R²中的至少1个是有机基；R³和R⁴分别独立地表示氢、卤素、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸根基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸根基或有机基，可相同也可不同；R⁵、R⁶、R⁷和R⁸分别独立地表示氢、卤素、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸根基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸根基、氨基、铵基或有机基，可相同也可不同；R⁵、R⁶、R⁷和R⁸中的2个以上可键合而形成环状结构，该环状结构也可含有杂原子；R⁹为可通过加热和/或电磁波照射而脱保护的保护基。