[发明专利]从晶体材料的非极性平面形成的器件及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201080015035.2 申请日: 2010-04-01
公开(公告)号: CN102379046A 公开(公告)日: 2012-03-14
发明(设计)人: 安东尼·J·罗特费尔德 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L31/12 分类号: H01L31/12
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人: 郝新慧;张浴月
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 包括同样内容的材料、方法、结构以及器件可通过使用一有源区来提供例如发光二极管的半导体器件,其中该有源区对应于III-N半导体晶体材料的非极性面或非极性表面。在一些实施例中,有源二极管区包含多于朝向极性平面的III-N半导体材料的朝向非极性平面的III-N半导体材料。在另一些实施例中,底部区包含比面对有源区的极性c-平面氮化镓的表面面积更大的非极性m-平面或a-平面氮化镓的表面面积。
搜索关键词: 晶体 材料 极性 平面 形成 器件 及其 制作方法
【主权项】:
一种二极管的制作方法,包括:形成一第一包覆层,其中该第一包覆层包括一个或多个极性晶体材料的鳍,且其中该一个或多个鳍的主要面为非极性的;在该主要面的一个或多个面上方形成一有源区;以及形成相邻于该有源区的一第二包覆层。
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