[发明专利]具有内部预色散的中阶梯光栅光谱仪装置

摘要

具有内部级次分离的中阶梯光栅光谱仪装置（10）包含中阶梯光栅（34）和色散元件（38）、成像光学系统（18，22，28，46）、面检测器（16）以及预色散装置（20），所述色散元件（38）用于进行级次分离，使得可产生具有多个被分离的级次（56）的二维谱，所述预色散装置（20）用于朝色散元件（38）的横向色散的方向使辐射预色散。该装置的特征在于：预色散装置（20）包括预色散元件，该预色散元件沿着光学路径被布置在光谱仪装置内部的入射缝隙（12）之后；成像光学系统被构造为使得预色散辐射可以被成像到附加的在预色散方向上无限制的图像平面（24）中，该图像平面（24）沿着光学路径被布置在预色散元件（20）和中阶梯光栅（34）之间；以及光学装置（20,68）被设置在预色散光谱的位置上，用于影响在检测器（16）上的空间和/或光谱辐射密度分布。

主权项

一种具有内部级次分离的中阶梯光栅光谱仪装置（10），其包含：（a）用于对在主色散方向（66）上的辐射进行谱线分解的中阶梯光栅（34），（b）用于借助横向色散方向上的辐射的谱线分解进行级次分离的色散元件（38），该横向色散方向与中阶梯光栅（34）的主色散方向形成角度，使得能够产生具有多个被分离的级次（56）的二维谱，（c）用于将通过入射狭缝（12）入射到光谱仪装置（10）中的辐射成像到图像平面中的成像光学系统（18，22，28，46），以及（d）在图像平面中具有二维布置的多个检测元件（54）的面检测器（16），以及（e）用于朝色散元件（38）的横向色散的方向使辐射预色散的预色散装置（20），其特征在于，（f）预色散装置（20）包括预色散元件，该预色散元件沿着光学路径被布置在光谱仪装置内部的入射狭缝（12）之后，（g）成像光学系统被构造为使得被预色散的辐射能被成像到附加的在预色散方向上无限制的图像平面（24）中，该图像平面（24）沿着光学路径被布置在预色散元件（20）和中阶梯光栅（34）之间，以及（h）光学装置（20,68）被设置在预色散光谱的位置上，用于影响检测器（16）上的空间和/或光谱辐射密度分布。