[发明专利]振动型微机械角速度传感器有效
| 申请号： | 201080015565.7 | 申请日： | 2010-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN102369414A | 公开（公告）日： | 2012-03-07 |
| 发明（设计）人： | 安斯·布卢姆奎斯特;亚科·罗希奥 | 申请（专利权）人： | VTI技术有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 褚海英;武玉琴 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 芬兰;FI |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于测量角速度的测量仪器，更具体地涉及一种振动型微机械角速度传感器。本发明的角速度传感器包括至少两个振动质量块结构(1)、(2)、激励结构(3)、(4)以及耦合跷跷板式弹簧(6)、(7)。本发明旨在提供一种改进的传感器结构，该传感器结构具体地在小型振动型微机械角速度传感器的技术方案中可实现高效可靠测量。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 微机 角速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种包括至少两个振动质量块结构(1)、(2)的振动型微机械角速度传感器，其特征在于，所述角速度传感器还包括激励结构(3)、(4)和耦合跷跷板式弹簧(6)、(7)，使得所述至少两个振动质量块结构(1)、(2)分开设置并通过弹簧(27～30)支撑于所述激励结构(3)、(4)处，从而所述激励结构(3)、(4)在其至少一端通过所述耦合跷跷板式弹簧(6)、(7)而支撑于锚点(8～11)处。
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