[发明专利]钼基靶和通过热喷镀制备靶的方法在审
| 申请号： | 201080016267.X | 申请日： | 2010-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN102388159A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | D·比耶尔 | 申请（专利权）人： | 圣戈班涂敷技术公司 |
| 主分类号： | C23C4/12 | 分类号： | C23C4/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 黄念;林森 |
| 地址： | 法国阿*** | 国省代码： | 法国;FR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及包含至少一种钼基化合物的具有公称厚度的靶，特征在于它具有：层状微结构；低于1000ppm，优选地低于600ppm，甚至更优选地低于450ppm的氧含量；低于该化合物的理论电阻率的五倍、优选地三倍，更优选地二倍的电阻率。 | ||
| 搜索关键词： | 钼基靶 通过 热喷镀 制备 方法 | ||
【主权项】：
包含至少一种钼基化合物的具有公称厚度的靶，特征在于它具有：‑层状微结构；‑低于1000ppm，优选地低于600ppm，甚至更优选地低于450ppm的氧含量；‑低于该化合物的理论电阻率的五倍、优选地三倍，更优选地二倍的电阻率。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
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