[发明专利]使用粘弹性清洁材料去除衬底上的颗粒的设备和方法

摘要

实施方式提供了从衬底表面、特别是从图案化的衬底(或晶片)表面上去除颗粒的设备和方法。该清洁设备和方法在清洁图案化的衬底而不明显破坏衬底表面上的特征方面具有优势。该清洁设备和方法包括使用包含带有诸如大于10000g/mol之类大分子量的聚合物化合物的粘弹性清洁材料。该粘弹性清洁材料捕获了在衬底表面上的至少部分颗粒。在足够短的时间内在粘弹性清洁材料上施加力，使该材料呈现促进粘弹性清洁材料与捕获颗粒一起去除的固体状的性质。在短时间内可以施加多次力以接近粘弹性清洁材料的固体状的性质。可替换地，粘弹性清洁材料的温度降低时，粘弹性清洁材料也呈现固体状的性质。

主权项

一种从衬底表面去除颗粒的方法，其包括：在所述衬底表面上分配清洁材料的层，其中所述衬底由衬底支撑转动，并且其中所述清洁材料是包括聚合物的粘弹性溶液，所述聚合物溶于清洁液以形成所述清洁材料，所述清洁材料从所述衬底的所述表面俘获和捕获所述颗粒中的至少一些；和在所述衬底的所述表面上的所述清洁材料的所述层上分配冲洗液以去除清洁材料的所述层，其中在向所述清洁材料的所述层上分配所述冲洗液期间或之前，在所述清洁材料上施加能，其中所施加的所述能增强了所述清洁材料的固体状的反应，从而促进从所述衬底表面去除所述清洁材料，并且其中被所述清洁材料捕获的所述颗粒中的所述至少一些与所述清洁材料一起被去除。