[发明专利]外延反应器的反应室和使用所述室的反应器有效
| 申请号： | 201080016602.6 | 申请日： | 2010-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN102395714A | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 斯瑞尼瓦斯·亚拉加达;纳塔莱·斯佩恰莱;弗兰科·佩雷蒂;马里奥·佩雷蒂 | 申请（专利权）人： | LPE公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B25/10;C30B35/00;C30B29/06;C30B29/36;C30B29/08;C30B29/40;C23C16/46 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 武晶晶;郑霞 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本发明涉及基本上由石英构件组成的外延反应器的反应室；石英构件包括具有由壁(1A、1B、1C、1D)界定的内腔(2)的石英构件部分(1)；腔(2)包括外延反应器的反应和沉积区(3)；区(3)适合于容纳在其中待加热的基座(4)；反应室还包括以使得形成对面壁并成为所述区(3)的壁的方式被布置为邻近所述壁(1A、1B、1C、1D)的石英部件(5)。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 反应器 反应 使用 | ||
【主权项】：
一种外延反应器的反应室，基本上由石英构件组成，其中所述石英构件包括具有由壁(1A、1B、1C、1D)界定的内腔(2)的石英构件部分(1)，其中所述腔(2)包括所述外延反应器的反应和沉积区(3)，其中所述区(3)适合于容纳在所述区(3)内待加热的基座(4)，其特征在于，所述反应室包括石英部件(5)，所述石英部件(5)被按照使得形成对面壁并成为所述区(3)的壁的方式布置为邻近所述壁(1A、1B、1C、1D)。
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