[发明专利]微影机及基板处理的配置无效
| 申请号： | 201080017870.X | 申请日： | 2010-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN102414776A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | G.德波尔;S.巴尔图森;H.J.德琼 | 申请（专利权）人： | 迈普尔平版印刷IP有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/16 | 分类号： | H01J37/16;H01J37/18;H01L21/677;H01L21/00;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈尧剑 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种包括多个带电粒子微影设备的装置，每个带电粒子微影设备均具有真空腔室(400)。该装置进一步包括：共用自动机(305)，用以将晶圆运送到该多个微影设备；以及用于每个带电粒子微影设备的晶圆装载单元(303)，被布置成在每个相应真空腔室(400)的正面。该多个微影设备被布置成行，且微影设备的正面面向过道(310)，该过道用以让共用自动机(305)通过，以便将晶圆运送至每个设备；以及，每个微影设备的背面面向通道廊道(306)，且每个真空腔室的后壁均设置有通道门，用以通往相应微影设备。 | ||
| 搜索关键词： | 微影机 处理 配置 | ||
【主权项】：
一种包括多个带电粒子微影设备的装置，每个带电粒子微影设备均具有真空腔室(400)，所述装置进一步包括：共用自动机(305)，用以将晶圆运送到所述多个微影设备；以及用于每个带电粒子微影设备的晶圆装载单元(303)，被布置在每个相应真空腔室(400)的正面；其中所述多个微影设备被布置成行，且所述微影设备的正面面向过道(310)，所述过道用以让所述共用自动机(305)通过，以便将晶圆运送至每个设备；并且其中每个微影设备的背面面向通道廊道(306)，并且每个真空腔室的后壁均设置有通道门，用以通往相应的微影设备。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于迈普尔平版印刷IP有限公司，未经迈普尔平版印刷IP有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201080017870.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：脱水剂、预洗剂、脱水方法和脱水装置
- 下一篇：橡胶辊
