[发明专利]真空腔中产生真空的带电粒子光刻设备及方法有效
| 申请号： | 201080017872.9 | 申请日： | 2010-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN102414777A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | S.巴尔图森;G.德波尔;H.M.马金克;T.F.提彭 | 申请（专利权）人： | 迈普尔平版印刷IP有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/16 | 分类号： | H01J37/16;H01J37/18;H01L21/677;H01L21/00;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈晓帆;沙捷 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种包含用于封闭一内部空间的多个壁板(510)的真空腔(400)，其中该壁板使用多个用于以预定配置对该壁板定位的连接部件(504、524、528)而可卸除地连接以形成腔室。该真空腔另外包含一或多个在该壁板的边缘处提供的密封部件(522)。该壁板经配置，使得因该内部空间形成真空而在该壁板的边缘处形成真空紧密密封。 | ||
| 搜索关键词： | 空腔 产生 真空 带电 粒子 光刻 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种真空腔室(400)，其包括封闭一内部空间的多个壁板(510)，其中所述壁板使用多个连接部件(504、524、528)装配以形成该腔室，所述连接部件以一预定配置对所述壁板定位，该真空腔室还包括在所述壁板的边缘处提供的一个或多个密封部件(509、522)，其中所述壁板经配置，使得因该内部空间中形成真空而在所述壁板的边缘处形成真空紧密密封。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于迈普尔平版印刷IP有限公司，未经迈普尔平版印刷IP有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201080017872.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：眼睛建模方法和器械
- 下一篇：全血免疫测量装置和全血免疫测量方法
