[发明专利]大面积半导体器件的电气及光电子表征有效
| 申请号： | 201080018738.0 | 申请日： | 2010-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN102439467A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 菲利普·戴尔;苏珊娜·西奔特力特 | 申请（专利权）人： | 卢森堡大学;TDK株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01G9/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙纪泉 |
| 地址： | 卢森堡*** | 国省代码： | 卢森堡;LU |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于测试在生产中的大面积半导体器件的电气及/或光电子表征方法，该方法包括下述步骤：提供第一电极并将其设置成与半导体器件的导电层的接触区域电接触；提供可移动的电极组件，其包括保持电解质溶液和至少第二电极的容器，将所述第二电极浸没到所述电解质溶液中；放置电极组件使得电解质溶液设置成让第二电极与半导体器件的上表面电接触；在进行电气测量的同时，相对于半导体器件的上表面扫描所述可移动的电极组件。还涉及相应的电气及/或光电子表征装置，包括第一电极、具有容器的可移动电极组件以及扫描装置，其中所述容器保持电解质溶液和浸没在其中的第二电极。 | ||
| 搜索关键词： | 大面积 半导体器件 电气 光电子 表征 | ||
【主权项】：
一种用于测试在生产中的大面积半导体器件的电气及/或光电表征方法，该方法包括下述步骤：提供第一电极(1)并将其设置成与半导体器件(30)的导电层(32)的接触区域(36)电接触；提供可移动的电极组件(5)，其包括保持电解质溶液(4)和至少第二电极(2)的容器(6)，将所述第二电极(2)浸没到所述电解质溶液(4)中，放置电极组件(5)使得电解质溶液(4)设置成让第二电极(2)与半导体器件的上表面(35)电接触；在进行电气测量的同时，相对于半导体器件(1)的上表面(35)扫描所述可移动的电极组件(5)。
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