[发明专利]微机械传感器有效
| 申请号： | 201080018949.4 | 申请日： | 2010-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN102428348A | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | H·哈默 | 申请（专利权）人： | 感应动力股份公司 |
| 主分类号： | G01C19/5684 | 分类号： | G01C19/5684;G01P15/08 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 陈卫 |
| 地址： | 奥地利格拉茨-*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 一种具有一个衬底（2）和至少一个设置在衬底（2）上且相对衬底（2）运动的质量块的微机械传感器（1），用于感测基于同时所出现的加速力或科氏力引起的传感器（1）运动。所述质量块和衬底和/或两个相互运动的质量块通过至少一个弯曲弹簧装置（6）相互连接。该弯曲弹簧装置（6）具有弹簧臂(9)以及设置在其上的扭曲（Maeander）（10），该扭曲具有在扭曲内侧的曲率中心（MP1；MP6；MP8；MP9；MP11）和曲率半径（r1；r6；r8；r9；r11）的曲率圆（K1；K6；K8；K9；K11）。为减少出现的应力，所述扭曲（10）除具有内曲率中心（MP1；MP6；MP8；MP9；MP11）的曲率半径（r1；r6；r8；r9；r11）外，还有至少另外一个在扭曲（10）外侧的曲率中心（MP2；MP3；MP4；MP5；MP7；MP10）的曲率半径（r2；r3；r4；r5；r7；r10）。所述的至少另外一个曲率半径（r2；r3；r4；r5；r7；r10）设置在扭曲（10）和弹簧臂（9）之间。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 传感器 | ||
【主权项】：
一种微机械传感器具有一个衬底（2）和至少一个设置在衬底（2）上且相对衬底（2）运动的质量块，用于感测基于同时所出现的加速力或科氏力引起的传感器（1）运动，其中所述质量块（5）和衬底（2）和/或两个相互相对运动的质量块（5，7）通过至少一个弯曲弹簧装置（6）相互连接，以及所述弯曲弹簧装置（6）具有弹簧臂 (9)以及设置在其上的扭曲（10），该扭曲具有在扭曲内侧的曲率中心（MP1；MP6；MP8；MP9；MP11）和曲率半径（r1；r6；r8；r9；r11）的曲率圆（K1；K6；K8；K9；K11），其特征在于，为减少出现的应力，扭曲（10）除具有内曲率中心（MP1；MP6；MP8；MP9；MP11）的曲率半径（r1；r6；r8；r9；r11）外，还具有至少另外一个在扭曲（10）外侧的曲率中心（MP2；MP3；MP4；MP5；MP7；MP10）的曲率半径（r2；r3；r4；r5；r7；r10），所述至少另外一个曲率半径（r2；r3；r4；r5；r7；r10）设置在所述扭曲（10）和所述弹簧臂（9）之间。
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