[发明专利]用于有机蒸汽印刷的方法和设备有效

专利信息
申请号: 201080019410.0 申请日: 2010-05-01
公开(公告)号: CN102414863A 公开(公告)日: 2012-04-11
发明(设计)人: 康纳尔·F·马迪根;亚历山大·寿-康·廓;陈江龙 申请(专利权)人: 卡帝瓦公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 陆弋;王伟
地址: 美国,加*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 在一个实施例中,本公开涉及提供携带汽化材料的第一气流并通过将多个含有该汽化材料的气流引导至衬底来将该汽化材料沉积在衬底上,在所述流周围形成气帘以防止其散播超出目标印刷区,并且允许汽化材料凝结在该目标印刷区上。在另一个实施例中,使用热来调节材料的流动和沉积层的厚度。
搜索关键词: 用于 有机 蒸汽 印刷 方法 设备
【主权项】:
一种用于在目标印刷区上印刷具有大体均匀厚度的薄膜的方法,包括:提供携带汽化材料的第一气流,所述汽化材料限定墨成分并且所述气流具有第一温度;将所述第一气流引导通过包括多个微孔的喷嘴以形成多个微米级支流,每个支流携带所述汽化材料;将所述支流引导到衬底上;以及使所述汽化材料凝结在所述衬底上以形成大体固态的薄膜;其中所述多个微米级支流相对于彼此定位,以在所述目标印刷区上沉积具有大体均匀薄膜厚度轮廓的薄膜。
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