[发明专利]涂布有SiC的物体和制造涂布有SiC的物体的方法

摘要

本发明涉及涂布有SiC硬材料层或包含至少一个SiC硬材料层的层体系的物体，以及制造这类经涂布的物体的方法。本发明的目的在于，提供具有SiC层的物体，其具有不含颗粒、非多孔的结构、高硬度，低脆性、高附着强度、良好的抗氧化性能和抗裂缝生长性。根据本发明，利用SiC层或包含至少一个SiC层的多层涂布体系涂布所述物体，其中所述SiC层包含：含卤素的纳米晶体3C-SiC或由混合层，该混合层包含：含卤素的纳米晶体3C-SiC和非晶SiC或者含卤素的纳米晶体3C-SiC和非晶碳。所述物体的涂布在热CVD工艺中进行，其中使用气体混合物，该气体混合物包含H2和/或一种或更多种惰性气体，一种或更多种具有式SinX2n、SinX2n+2、SinXyHz的卤代聚硅烷，其中X是卤素且n≥2，以及一种或更多种烃。或者，根据本发明，在H2和/或一种或更多种惰性气体中使用气体混合物，该气体混合物包含：一种或更多种有机取代基R取代且通式为SinXyRz或SinHxXyRz的卤代聚硅烷，其中X是卤素且n≥2，z＞0，y≥1。SinXyRz适用化学计量关系2n+2＝y+z或2n＝y+z，SinHxXyRz适用化学计量关系2n+2＝x+y+z或2n＝x+y+z。

主权项

一种涂布有SiC层或涂布有包含至少SiC硬材料层的多层涂布体系的物体，其中所述SiC层由含卤素的纳米晶体3C‑SiC或混合层组成，所述混合层由含卤素的纳米晶体3C‑SiC和非晶SiC组成或由含卤素的纳米晶体3C‑SiC和非晶碳组成。