[发明专利]铝基材、采用该铝基材的具有绝缘层的金属基板、半导体元件和太阳能电池无效
申请号: | 201080020211.1 | 申请日: | 2010-05-07 |
公开(公告)号: | CN102421945A | 公开(公告)日: | 2012-04-18 |
发明(设计)人: | 祐谷重德;垣内良藏;泽田宏和 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | C25D11/04 | 分类号: | C25D11/04;C22C21/00;H01B5/02;H01L31/04 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 陈平 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供了一种具有绝缘层的金属基板,和获得所述金属基板的Al基材,所述金属基板能够通过简单工艺制备,在半导体加工过程中表现出耐热性,具有优异的耐电压性,并且具有小的泄漏电流。所述具有绝缘层的金属基板通过在Al基材的至少一个表面上进行阳极氧化而形成。所述Al基材仅包含通过阳极氧化阳极化的物质的析出粒子作为Al基体中的析出粒子。 | ||
搜索关键词: | 基材 采用 具有 绝缘 金属 半导体 元件 太阳能电池 | ||
【主权项】:
一种Al基材,所述Al基材在形成用于半导体元件的具有绝缘层的金属基板的方法中使用,所述方法是通过在所述Al基材的至少一个表面上进行阳极氧化而进行的,其特征在于:仅包含能够通过阳极氧化而阳极化的物质的析出粒子作为Al基体中的析出粒子。
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