[发明专利]确定重叠误差的方法

摘要

一种确定衬底上重叠误差的方法，其中衍射图案的第一级的不对称度被模型化为谐波的加权和。第一级谐波和更高级谐波都是不可忽略的，并且计算两者的权重。使用最小均方方法使用叠印图案组中的三组或更多组计算权重。

主权项

一种测量衬底上的重叠误差的方法，所述衬底包括多组叠印图案，每组叠印图案包括顶部图案和底部图案，其中顶部图案和底部图案是周期性的，并且每组叠印图案在顶部图案和底部图案之间具有不同的偏置，使得对应的顶部图案和底部图案之间的总的偏移量等于重叠误差和所述偏置之和，所述方法包括：(a)检测多个偏置中的每一个偏置的衍射图案，所述衍射图案包括第一级或更高级；(b)从第一级或更高级确定对应于叠印图案组中的每一组叠印图案的不对称度；(c)基于所述多个偏置的不对称度组计算重叠误差，其中所述计算包括对叠印图案组中的每一组叠印图案的不对称度建立模型、作为总的偏移量的函数，其中所述总的偏移量是至少两个不同的振荡基函数的加权和，所述基函数相对于顶部图案和底部图案之间的总偏移量具有不对称度并且具有等于周期图案的节距的周期。