[发明专利]半导体装置及其制造方法以及太阳能电池有效
申请号: | 201080020824.5 | 申请日: | 2010-05-11 |
公开(公告)号: | CN102422438A | 公开(公告)日: | 2012-04-18 |
发明(设计)人: | 末益崇;宇佐美德隆 | 申请(专利权)人: | 国立大学法人筑波大学;国立大学法人东北大学 |
主分类号: | H01L31/042 | 分类号: | H01L31/042;H01L21/203;H01L31/04 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种半导体装置,其包含:硅层(12);含有硅化钡的中间硅化物层(28),其设置在所述硅层(12)上,且具有开口;以及含有硅化钡的上部硅化物层(14),其被设置成覆盖中间硅化物层(28)且经由所述开口与硅层(12)相接,掺杂浓度比所述中间硅化物层(28)的掺杂浓度高。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 及其 制造 方法 以及 太阳能电池 | ||
【主权项】:
一种半导体装置,该半导体装置包含:硅层;含有硅化钡的中间硅化物层,其设置在所述硅层上,且具有开口;以及含有硅化钡的上部硅化物层,其被设置成覆盖中间硅化物层且经由所述开口与硅层相接,掺杂浓度比所述中间硅化物层高。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的