[发明专利]微机械结构无效
| 申请号： | 201080022900.6 | 申请日： | 2010-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN102449488A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | S·利宾;D·舒伯特;W·菲尔斯特;S·鲁兰德尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;B81B3/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 提出一种微机械结构、尤其是加速度传感器，包括衬底、相对于该衬底可运动的感振质量和至少一个固定地与该衬底连接的锚定元件，其中，感振质量借助锚定元件固定在衬底上并且在感振质量与锚定元件之间设有至少一个弹簧元件，并且锚定元件此外具有至少一个止挡元件用以与感振质量的至少一个配对止挡元件配合作用。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 结构 | ||
【主权项】：
微机械结构(1)、尤其是加速度传感器，包括衬底(2)、相对于该衬底(2)可运动的感振质量(3)和至少一个固定地与该衬底(2)连接的锚定元件(4)，其中，所述感振质量(3)借助所述锚定元件(4)固定在所述衬底(2)上并且在所述感振质量(3)与所述锚定元件(4)之间设有至少一个弹簧元件(5)，其特征在于，所述锚定元件(4)具有至少一个止挡元件(6，6’)用以与所述感振质量(3)的至少一个配对止挡元件(7，7’)配合作用。
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