[发明专利]气氛置换装置有效
| 申请号： | 201080023009.4 | 申请日： | 2010-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN102449752A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 坂田胜则;奥津英和 | 申请（专利权）人： | 罗兹株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种利用净化气体净化FOUP型容器的经改良的气氛置换装置。气氛置换装置具备被设计成使层流的净化气体从流出面流出的非喷嘴型净化板。净化板通过净化板驱动机构能够在待机位置与工作位置之间移动。净化板在净化期间内被置于该工作位置，并以面对FOUP型容器的敞开面的姿势使层流的净化气体朝敞开面的内部流出来净化容器。 | ||
| 搜索关键词： | 气氛 置换 装置 | ||
【主权项】：
一种气氛置换装置(40)，该气氛置换装置(40)利用净化气体净化FOUP型容器(13)，该气氛置换装置(40)的特征在于，该气氛置换装置(40)具备：非喷嘴型净化板(41)，该非喷嘴型净化板(41)设计成从流出面(50)流出层流的净化气体；以及净化板驱动机构(51、52、53)，该净化板驱动机构(51、52、53)使所述净化板(41)在待机位置与工作位置之间移动，在净化期间内，所述净化板(41)被置于所述工作位置，并以面对所述容器(13)的敞开面(161)的姿势使层流的净化气体朝所述敞开面(161)的内部流出来净化所述容器(13)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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